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无尘洁净工程之控制温度与湿度的重要性

时间: 2018-12-14 14:52:13  作者: admin   点击: 316 次

   无尘洁净工程之控制温度与湿度的重要性,为什么要控制洁净工程的温度和湿度呢?很多朋友都不太了解,这里小编就为大家介绍一下,控制温度和湿度主要原因还是防止污染,温度过高,导致人出汗,人一旦出汗,就会对产品产生污染,所以温度的控制是非常重要的。湿度过高产生的问题也不少。下面我们具体讲解。

 

  当相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产*佳温度范围为3545%

 

  我国对洁净室中的气压有明确规定:

 

  对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:

 

  1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

 

  2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

 

  3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。



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